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实验型等离子处理机
实验用真空等离子设备PMT-100
产品介绍
机台型号:PMT-100(实验用机)
 
整机规格:600mm(W)×500mm(D)×400mm(H)
 
真空室规格:200(W)×200(H)×200(D)mm
 
电极规格:190 ×150×2层
 
电源系统:1KW等离子体发生源(可选13.56MHz)
 
控制系统:触摸屏+PLC自动控制
 
进气系统:2路工作气体可选:Ar2、N2、H2、CF4、O2
 
特 点:高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持
 
用 途:适用于印制线路板行业,半导体IC领域,硅胶、塑胶、聚合体领域,汽车电子行业,航空工业等。
 
1、印制线路板行业:高频板表面活化,多层板表面清洁、去钻污,软板、软硬结合板表面清洁、去钻污,软板补强前活化。
 
2、半导体IC领域:COB、COG、COF、ACF工艺,用于打线、焊接前的清洗
 
3、硅胶、塑胶、聚合体领域:硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化

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