| 编号 | 内容 | 规格参数 |
|---|---|---|
| 1 | 机台型号 | 准辉光常压宽幅等离子模组 |
| 2 | 机台规格 | 紧凑的模块化设计 (宽:60mm) |
| 3 | 处理宽度 | 100~10000mm(可定制) |
| 4 | 基片温度 | < ~ 40 °C |
| 5 | 处理速度 | 约400毫米/分钟 (接触角< 10 °) |
| 6 | 臭氧释放量 | ( < ~ 0.01 ppm) |
| 特点:模块化设计,结构紧凑,便于安装到流水线设备上。有极好的高速处理效果。较低的等离子处理温度不存在热损伤和热氧化的问题 主要应用:白玻璃 清洁,绝缘薄膜清洁活化,平板覆膜清洁。 |
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