故障现象：真空等离子清洗机清洗效果不佳，表面不洁净

1. 故障原因：清洗时间过短、气体流量过小、真空度不足。

2. 解决方案：适当延长清洗时间，保证足够的清洗时间；调整气体流量，保证气体充足；检查真空度，确保真空度符合要求。

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