等离子清洗机的频率主要可以分为三种：

1. 中频：其频率范围为25~40kHz。中频等离子清洗机通常用于较大容积的真空腔体。中频电源的特点是等离子能量高、效率高、稳定度佳、成本较低且长寿命抗损伤。不过，中频电源直接输出到电极板的电压较高，这可能会导致工艺处理的温度也较高。

2. 射频：其频率为13.56MHz。射频等离子清洗机使用的射频电源，特点是等离子能量低，但是等离子密度高，效果均匀，成本稍高。射频等离子体发生的反应既有物理反应又有化学反应。

3. 微波：其频率为2.45GHz。微波等离子体的自偏压很低，只有几十伏，且其发生的反应主要为化学反应。

以上三种频率的等离子清洗机各有特点，可根据具体的清洗需求和材料特性进行选择。