深圳奥坤鑫科技专业等离子设备销售及生产厂家是采用微波等离子工艺用于芯片制造、MEMS器件、光伏电池、平板显示器和探测器等领域的市场领导者。在光刻胶灰化、晶圆减薄和应力去除、打线前的bond pad清洁、封胶前的活化等应用中用安全的微波等离子对硅、三五族化合物、铌酸锂等半导体材料进行处理。微波等离子体特别适合于处理对静电敏感的器件。
奥坤鑫等离子设备还提供量测工具用于先进的质量监测和生产过程中评估晶圆。SIRD系统是用于机械应力测量，TWIN用于离子注入剂量检测。我们的量测系统可处理300毫米的晶圆，并满足1级洁净室的所有要求。
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