深圳真空等离子设备特点:高精度,快响应,良好的操控性和兼容性,完善的功能和专业的技术支持。真空等离子设备处理均匀性佳，离子能量低、不损伤基板，没有电极及基板的污染，专利设计之特殊等离子电极。
真空等离子设备高密度等离子源，等离子效率高、清洁效率高，可控制低的离子能量结合化学反应性及物理童击性。
真空等离子设备处理速度快、清洁效率高、可靠度高，操作范围广，可使用多种制程气体。
真空等离子设备全自动且容易操作，设备稳定高,容易维护，可按照客户需求进行更改。
真空等离子设备用途：适用于印制线路板行业,半导体IC领域,硅胶、塑胶、 聚合体领域，汽车电子行业,航空工业等。
1、真空等离子设备用于印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污,软板、软硬结合板表面清洁、去钻污,软板补强前活化。
2、真空等离子设备用于半导体IC领域：COB、COG、 COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗。
3、真空等离子设备用于硅胶、塑胶、聚合体领域：硅胶、塑胶、聚合体的表面粗化、刻蚀、活化。
