真空等离子设备主要适用于各种材料的表面改性处理：表面清洗、表面活化、表面刻蚀、表面接枝、表面沉积、表面聚合以及等离子体辅助化学气相沉积：
表面改性：真空等离子设备用于纸张粘合，塑料粘接、金属锡焊、电镀前的表面处理。
真空等离子设备表面活化：生物材料的表面修饰，印刷涂布或粘接前的表面处理，如纺织品的表面处理。
表面刻蚀：真空等离子设备用于硅的微细加工，玻璃等太阳能领域的表面刻蚀处理，医疗器皿表面刻蚀处理。
真空等离子设备表面接枝：材料表面特定基团的产生和表面活化的固定。
表面沉积：真空等离子设备用于疏水性或亲水性层的等离子体聚合沉积。
真空等离子设备广泛应用于金属、微电子、聚合物、生物功能材料、低温灭菌及污染治理等多种领域，是企业、科研院所进行等离子体表面处理的理想设备。
