真空等离子设备的工作基本原理是在真空状态下，等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作室进行抽真空达到0.02-0.03mbar 的真空度，再在高频发生器作用下，将气体进行电离，形成等离子体（物质第四态）。那么真空等离子设备的清洗过程是怎样的？下面来让我们一起去了解下：
1、被清洗的工件送入真空等离子设备并加以固定，启动运行装置，开始排气，使真空室内的真空程度达到10Pa左右的标准真空度。通常来说，排气时间大约需要几分钟。
2、向真空室内引入真空等离子设备用的气体，并维持腔内压强稳定。按照所需清洗材质的不同，可分别使用氧气、氩气、氢气、氮气、四氟化碳等气体。
3、在真空室内的电极与接地装置之间施加高频电压，使气体被击穿，并通过辉光放电而产生等离子化和产生等离子体，让在真空室产生的等离子体完全笼罩住被处理工件，真空等离子设备开始清洗作业，一般清洗处理持续几十秒到几十分钟不等。
4、真空等离子设备清洗完毕后必须要切断电源，并通过真空泵将气体和气化的污垢抽走排出。
上述就是真空等离子设备的清洗过程，希望看完能够对您有所帮助，如您想了解更多欢迎继续浏览本公司网站！
