等离子清洗机，又称等离子表面处理机，是一种全新的高科技技术，利用等离子体达到传统清洗方法无法达到的效果。等离子体是一种物质状态，也称为物质的第四种状态，不属于普通的固-液-气三种状态。对气体施加足够的能量使其电离，就变成了等离子体状态。等离子体的“活性”成分包括离子、电子、原子、活性基团、受激核素(亚稳态)、光子等。等离子清洗机利用这些活性成分的特性对样品表面进行处理，从而实现清洗、涂覆等目的。
等离子清洗机通过射频电源在一定压力下产生高能无序等离子体，用等离子体轰击待清洗产品的表面进行表面清洗，从而达到清洗的目的。表面活化(Surface activation)是指用等离子清洗机处理过的物体，它增强表面能、亲水性、附着力和附着力。
等离子清洗机的表面蚀刻通过材料表面上的反应气体等离子体选择性地蚀刻。蚀刻后的材料转化为气相，并通过真空泵排出。处理后材料的微比表面积增加，亲水性好。纳米涂层经等离子清洗机处理后，等离子引发聚合形成纳米涂层。各类材料通过表面涂层，实现疏水性（疏水）、 亲水性（亲水）、疏脂性（防脂）、疏油性（防油）。
等离子清洗机对悬浮粒子/有机发光二极管(TSP/OLED)和悬浮粒子(TSP)的清洗功能:清洗触摸屏的主要工序，提高OCA/OCR、层压、ACF、AR/AF镀膜等工序的附着力/镀膜力。为了去除气泡/异物，可以通过施加各种大气压等离子体形式来处理各种玻璃和薄膜表面而不会损坏。半导体/发光二极管使用等离子清洗机是为了更好地保护产品，并通过等离子清洗机去除表面有机物和杂质，而不损害晶圆表面的性能。
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