【等离子Plasma】气体放电分为直流放电和交流放电。
直流放电通常指低频放电，在气压和电流范围不同时，由于气体中电子数、碰撞频率、粒子扩散和热量传递速度不同，会出现暗电流区、辉光放电区和弧光放电区。电流的大小是根据电源负载特性曲线中两条相应于电阻R1、R2的下降直线和放电特性曲线的交点(工作点A、B、C)确定的。
①暗电流区
电子在电场加速的情况下，获得足够能量，通过与中性分子碰撞，新产生的电子数迅速增加，电流增大到10-7～10-5安时，在阳极附近才出现很薄的发光层。
②辉光放电区【等离子表面刻蚀】
电流再增大（10-5～10-1安）时，在较低的气压条件下，阴极受到快速离子的轰击而发射电子，这些电子在电场作用下向阳极方向加速运动。阴极附近有一个电位差很大的阴极位降区。电极之间的中间部分是电位梯度不很大的正柱区，其中的介质是非平衡等离子体。
正柱区的电子和离子以同一速度向壁面扩散，并在壁面复合，放出能量(这是没有气体对流时的情况)。经典理论中电子密度在横截面上的分布是贝塞耳函数的形式。在阳极附近有一个几毫米厚的阳极位降区，其中的电位差与气体电离电位的数值大致相等。
③弧光放电区【常压等离子设备】
当电流超过 10-1安且气体压力也较高时，正柱区产生的焦耳热大于粒子扩散带到壁面的热量,使正柱区中心部分温度升高,气体电导率增加，以致电流向正柱区中心集中，形成不稳定的收缩现象。
最后，导电正柱缩成一根温度很高、电流密度很大的电弧，这就是弧光放电。在阴极,电流密度达104～106安／厘米2，形成"阴极斑点"，根据热电子发射（热阴极）或场致发射（冷阴极）的机理，发出电子。
