PM175L真空等离子清洗机
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| 编号 | 内容 | 规格参数 |
|---|---|---|
| 1 | 机台整机规格 | 1400(W)×1720(H)×1100(D)mm |
| 2 | 真空室规格 | 550(W)×635(H)×535(D)mm |
| 3 | 电极板规格 | 进口铝电极532(L)×412(W)mm |
| 4 | 控制系统 | 触摸屏+PLC控制 |
| 5 | 真空测定系统 | 皮拉尼电阻式真空计 |
| 6 | 气体计量系统 | 精确质量流量控制计 MFC |
| 7 | 气体路数 | 2路进气，1路放空 |
| 8 | 等离子发生器 | 500W&1KW等离子体发生源，40KHz（可选13.56MHz） |
| 9 | 工作气体 | 2路工作气体可选：Ar2、N2、H2、O2 |
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