在线式真空等离子设备 PR-IL05-D
特点：
1、进料流水线运动模组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动，有效保证精度，降低尘污；
2、真空腔内置2条轨道，可一次处理2片物料， UPH可达120载板/小时；
3、所有运动机构均采用成熟运动方案，设备稳定性及故障率得以有效控制。
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1、进料流水线运动模组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动，有效保证精度，降低尘污；
2、真空腔内置2条轨道，可一次处理2片物料， UPH可达120载板/小时；
3、所有运动机构均采用成熟运动方案，设备稳定性及故障率得以有效控制。
| 编号 | 内容 | 规格参数 |
|---|---|---|
| 1 | 整机规格 | 1400*1400*2150mm（包含FFU及报警指示灯等） |
| 2 | 单次处理数量 | 2片载板 |
| 3 | 腔体轨道长度 | 260mm |
| 4 | 腔体轨道宽度兼容范围 | 70-110mm |
| 5 | 腔体内尺寸 | 395*280*65mm |
| 6 | 设备产能 | 120载板/小时 |
| 7 | CT | 60秒 |
| 8 | LOAD&UNLOAD | 不具备 |
| 9 | 扫码 | 进出扫码载具二维码 |
| 10 | 净化防护 | 百级FFU净化过滤系统 |
| 特点： 1、进料流水线运动模组采用伺服电机+滚珠丝杆模组运动，有效保证精度，降低尘污； 2、真空腔内置2条轨道，可一次处理2片物料， UPH可达120载板/小时； 3、所有运动机构均采用成熟运动方案，设备稳定性及故障率得以有效控制。 用 途：IC封装中引线框架上点胶装片、芯片键合及塑封等工艺前清洗 在线式真空等离子清洗机自动搬运物料的设计要求,与常规等离子清洗系统相比,降低了人工搬运过成,提高了设备自动化水平。 |
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